?? �:DZ350热阻蒸发系统 - 中国�科学院沈阳科学仪器股份有限公司

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DZ350熱阻蒸發系統
編號︰2
類別︰蒸發鍍膜設備
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

      設備用途 

          適用于制備金屬薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產前的試驗工作。

       

      設備組成

       

          該設備主要由金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、樣品加熱控溫、電控系統、配氣系統等部分組成。

    極限真空度≤6.6×10-5Pa

    抽速︰40分鐘可達到6×10-4Pa

    熱阻蒸發組件:2套;

    有機蒸發束源爐組件︰1套;

    樣品尺寸︰φ100mmx1片;

    樣品台溫度︰300℃;

    分子泵系統︰1套;

    膜厚監測儀(1個探頭)︰1套;

    冷卻水路系統︰1套;

    自動控制系統︰1套。

    公司︰中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司 

    地址︰沈陽市渾南新區新源街1

    銷售電話︰024-23826899024-23826855

    售後電話︰024-23826838

    傳真︰024-23826828

    郵箱︰sales@sky.ac.cn

    網址︰www.sky.ac.cn

    開戶行︰建行沈陽渾南新區產業園分理處

    賬號︰2100 1394 6010 5958 1266

    納稅號︰912101 0041 0581 2660

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