?? �:DZS500电子束蒸发系统 - 中国科学院沈阳科�学仪器股份有限公司

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DZS500電子束蒸發系統
編號︰1
類別︰電子束蒸發
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

      設備用途

          用于制備導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜等,廣泛應用于大專院校、科研機構的科研及小批量生產。

       

      設備組成

          系統主要由蒸發真空室、E型電子槍、熱蒸發電極、旋轉基片加熱台、工作氣路、抽氣系統、真空測量、電控系統及安裝機台等部分組成。

    極限真空度︰≤6.67×10-5Pa

    抽速︰45分鐘可達到6.67×10-4Pa

    基片尺寸︰4英寸x1片;

    加熱爐最高溫度 800°C

    熱阻蒸發組件︰2套;

    新型電子槍及電源︰電子槍最大功率8KW10KV,800mA)可調;

    水冷式坩堝︰ 4穴坩堝,每個容量約為11 ml

    膜厚控制儀(1個探頭)︰1套;

    分子泵系統︰1套;

    控制系統︰用工控機進行系統操作,可允淨蜃遠 ?頻墓δ苡校旱繾憂埂 ?窨?埔恰 沸﹤凹尤取?貳 櫧/span>

    冷卻水循環機及水路組件︰1套;

    離子轟擊系統組件︰1套;

    公司︰中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司 

    地址︰沈陽市渾南新區新源街1

    銷售電話︰024-23826899024-23826855

    售後電話︰024-23826838

    傳真︰024-23826828

    郵箱︰sales@sky.ac.cn

    網址︰www.sky.ac.cn

    開戶行︰建行沈陽渾南新區產業園分理處

    賬號︰2100 1394 6010 5958 1266

    納稅號︰912101 0041 0581 2660

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